洁净室防静电设施的施工,应能抵制或减少静电的产生,或易于泄漏已产生的静电。
本介绍主要适用于防静电地面和管道系统部分防静电设施的施工和验收。防静电地面施工除应符合本章规定外,还应符合本规范的有关规定,以及现行行业标准《防静电地面施工及验收规范》要求。
防静电地面
1、 防静电地面面层应先择耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料制作。
2、 在有220V及其以上电压场所,其防静电面宜使用静电耗散型材料,其表层的表面电阻应为1*105Ω∽1*1010或体积电阻1*104Ω∽1*109.
3、 具有不燃性能要求的地面宜选用防静电水磨石和防静电瓷质地板。